1. Интегриран дизайн на оптичен металографски микроскоп и микроскоп за атомна сила, мощни функции
2. Той има както оптични микроскоп, така и функции за изобразяване на микроскоп на атомна сила, като и двете могат да работят едновременно, без да се засягат взаимно
3. В същото време той има функциите на оптичното двуизмерно измерване и микроскоп на атомна сила триизмерно измерване
4. Лазерната глава за откриване и етапът на сканиране на пробата са интегрирани, структурата е много стабилна, а антиинтерференцията е силна
5. Прецизно устройство за позициониране на сондата, регулиране на подравняването на лазерно петно е много лесно
6. Пробата за едноосно устройство автоматично се приближава към сондата вертикално, така че върхът на иглата да се сканира перпендикулярно на пробата
7. Интелигентният метод за хранене на иглата на контролираното с мотор пиезоелектрично керамично откриване на налягане защитава сондата и пробата
8. Оптично позициониране на ултра-високо увеличение за постигане на прецизно позициониране на сондата и площта за сканиране на пробата
9. Интегриран скенер нелинеен редактор на потребител на корекция, характеристика на нанометъра и точност на измерване по -добре от 98%
Спецификации:
Режим на работа | Режим на допир, докоснете режим |
Опционален режим | Триене/странична сила, амплитуда/фаза, магнитна/електростатична сила |
Крива на спектъра на силата | FZ крива на сила, RMS-Z крива |
XY обхват на сканиране | 50*50um, незадължително 20*20um, 100*100um |
Z обхват на сканиране | 5um, незадължително 2um, 10um |
Резолюция на сканиране | Хоризонтални 0,2 nm, вертикални 0,05nm |
Размер на пробата | Φ≤68mm, h≤20mm |
Примерно сценично пътуване | 25*25 мм |
Оптичен окуляр | 10x |
Оптична цел | 5x/10x/20x/50x план Апохроматични цели |
Метод на осветление | Le Kohler осветителна система |
Оптично фокусиране | Груб ръчен фокус |
Камера | 5MP CMOS сензор |
дисплей | 10.1 инчов дисплей с плосък панел с функция за измерване, свързана с графика |
Скорост на сканиране | 0.6Hz-30Hz |
Ъгъл на сканиране | 0-360 ° |
Работна среда | Windows XP/7/8/10 операционна система |
Комуникационен интерфейс | USB2.0/3.0 |