1. Главата за лазерно откриване и етапът на сканиране на проби са интегрирани, структурата е много стабилна и защитата от смущения е силна
2. Устройство за прецизно позициониране на сондата, регулирането на подравняването на лазерното петно е много лесно
3. Пробата с едноосно задвижване автоматично се доближава до сондата вертикално, така че върхът на иглата да е перпендикулярен на сканираната проба
4. Интелигентният метод за подаване на иглата на управлявано от мотор пиезоелектрическо керамично откриване под налягане защитава сондата и пробата
5. Автоматично оптично позициониране, без нужда от фокусиране, наблюдение в реално време и позициониране на зоната за сканиране на пробата на сондата
6. Удароустойчив метод на пружинно окачване, прост и практичен, добър удароустойчив ефект
7. Метална екранирана звукоизолирана кутия, вграден високопрецизен сензор за температура и влажност, наблюдение в реално време на работната среда
8. Интегриран потребителски редактор за нелинейна корекция на скенера, нанометрова характеристика и точност на измерване, по-добри от 98%
Режим на работа | режим на докосване, режим на докосване |
Режим по избор | Триене/странична сила, амплитуда/фаза, магнитна/електростатична сила |
крива на силовия спектър | FZ крива на силата, RMS-Z крива |
XY диапазон на сканиране | 20*20um, по избор 50*50um, 100*100um |
Z диапазон на сканиране | 2.5um, по избор 5um, 10um |
Разделителна способност на сканиране | Хоризонтално 0,2 nm, вертикално 0,05 nm |
Размер на извадката | Φ≤90mm, H≤20mm |
Примерно сценично пътуване | 15*15 мм |
Оптично наблюдение | 4X оптичен обектив/2.5um резолюция |
Скорост на сканиране | 0.6Hz-30Hz |
Ъгъл на сканиране | 0-360° |
Работна среда | Операционна система Windows XP/7/8/10 |
Комуникационен интерфейс | USB2.0/3.0 |
Ударопоглъщащ дизайн | Кутия с пружинно окачване/метална екранирана кутия |